- Tytuł:
- Piezoresistive sensors for atomic force microscopy - numerical simulations by means of virtual wafer fab
- Autorzy:
-
Dębski, T.
Barth, W.
Rangelow, I.W.
Domański, K.
Tomaszewski, D.
Grabiec, P.
Jakubowski, A. - Tematy:
-
atomic force microscopy (AFM)
piezoresistive sensors
technology simulation
technology characterization - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2001
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł