- Tytuł:
- Computer Controlled System for the Magnetron Sputtering Deposition of the Metallic Multilayers
- Autorzy:
-
Marszałek, K.
Stępień, J.
Mania, R. - Tematy:
-
process control system
Al-Ni
magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2014
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł