- Tytuł:
- New Approach to Non-Volatile Metal Ion Production Using Plasma Ion Source with Internal Evaporator
- Autorzy:
-
Turek, Marcin
Droździel, Andrzej
Pyszniak, Krzysztof
Filiks, Janusz
Węgierek, Paweł - Tematy:
-
ion sources
ion implantation
ion beams - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł