- Tytuł:
- Non-self-sustained discharge with hollow anode for plasma-based surface treatment
- Autorzy:
-
Misiruk, I. O.
Timoshenko, O. I.
Taran, V. S.
Garkusha, I. E. - Tematy:
-
diffusion saturation
film deposition
hollow anode
ion etching
ion pumping
non-self-sustained glow discharge - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2016
- Wydawca:
- Instytut Chemii i Techniki Jądrowej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł