- Tytuł:
- Review and perspective of high-k dielectrics on silicon
- Autorzy:
-
Hall, S.
Buiu, O.
Mitrovic, I. Z.
Lu, Y.
Davey, W. M. - Tematy:
-
high-k dielectrics
dielectric constant
hafnia
interfacial layer
aluminates
silicates - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł