- Tytuł:
- Analysis of the Dispersion of Electrical Parameters and Characteristics of FinFET Devices
- Autorzy:
-
Malinowski, A.
Tomaszewski, D.
Łukasiak, L.
Jakubowski, A.
Sekine, M.
Hori, M.
Korwin-Pawlowski, M. L. - Tematy:
-
FinFET
line edge roughness
parameter variability
plasma etching
technology computer aided design (TCAD) - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2009
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł