- Tytuł:
- Structural, Electrical, and Optical Properties of ZnO Films Grown by Atomic Layer Deposition at Low Temperature
- Autorzy:
-
Park, Ji-Young
Weon, Ye Bin
Jung, Myeong Jun
Choi, Byung Joon - Tematy:
-
zinc oxide
ZnO
atomic layer deposition
low temperature growth
optoelectronic properties - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł