- Tytuł:
- Semiconductor cleaning technology for next generation material systems
- Autorzy:
- Ruzyllo, J.
- Tematy:
-
III-V compounds
FinFET
IC manufacturing
MEMS
MOS gate stack
semiconductor cleaning - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł