- Tytuł:
- Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych
- Autorzy:
- Piątkowski, Bronisław
- Współwytwórcy:
- Szymański, Sławomir
- Data publikacji:
- 2012
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł