- Tytuł:
-
Zastosowanie fourierowskiej spektroskopii absorpcyjnej w podczerwieni do badania interfejsu SiO2//Si w łączonych strukturach SOI
Infrared spectroscopic analysis of the SiO2//Si interface of soi structures - Autorzy:
-
Możdżonek, M.
Piątkowski, B.
Kozłowski, A. - Tematy:
-
spektroskopia absorpcyjna w podczerwieni
interfejs SiO2//Si
badanie tlenków - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł