- Tytuł:
- Generation of Large-area Arrays of Aperiodic Functional Micro/nano Structures Using Phase Shift Interferometry
- Autorzy:
-
Pearly Princess, J.
Alfred Kirubaraj, A.
Christina Sophia, S.
Senith, S.
Jino Ramson, S. R. - Tematy:
-
laser interference lithography
LIL
pattern structures
periodic patterns
aperiodic patterns
phase shift interferometry
PSI - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł