- Tytuł:
- Design, Modeling and Simulation of MEMS Devices on Si, SiC, and Diamond for Harsh Environment Applications
- Autorzy:
-
Kociubiński, A.
Bieniek, T.
Janczyk, G. - Tematy:
-
07.05.Tp
07.07.Df
62.20.-x
62.25.Fg - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2014-06
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł