- Tytuł:
- Electrical Characteristics of Tin Oxide Films Grown by Thermal Atomic Layer Deposition
- Autorzy:
-
Yoon, Seong Yu
Choi, Byung Joon - Tematy:
-
atomic layer deposition
tin oxide
electrical property
oxygen adsorption - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2020
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł