- Tytuł:
- Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej
- Autorzy:
- Wroczyński, Piotr
- Współwytwórcy:
-
Gnyba, Marcin
Bogdanowicz, Robert
Politechnika Gdańska. Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki - Data publikacji:
- 2004
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł