- Tytuł:
-
Wysokorezystywne wzorce do profilu rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych metodą oporności rozpływu w styku punktowym
Materiały Elektroniczne 2013 T. 41 nr 4
Wysokorezystywne wzorce do profilu rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych metodą oporności rozpływu w styku punktowym = High resistivity standards for measurement of resistivity profile in silicon epitaxial layers by spreading resistance method - Autorzy:
- Brzozowski Andrzej
- Współwytwórcy:
-
Lipiński Dariusz
Sarnecki Jerzy
Wodzińska Halina - Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- ITME
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka