- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 2008 T.36 nr 3
Pomiar długozasięgowego odchylenia od płaskości powierzchni płytek Si za pomocą HR XRR
Pomiar długozasięgowego odchylenia od płaskości powierzchni płytek Si za pomocą HR XRR = Measurement of long range surface flatness deviation of Siu wafers by means of HR XRR method - Autorzy:
- Mazur Krystyna
- Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- ITME
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka