Materiały Elektroniczne 2008 T.36 nr 3

Tytuł:: Materiały Elektroniczne 2008 T.36 nr 3
Pomiar długozasięgowego odchylenia od płaskości powierzchni płytek Si za pomocą HR XRR
Pomiar długozasięgowego odchylenia od płaskości powierzchni płytek Si za pomocą HR XRR = Measurement of long range surface flatness deviation of Siu wafers by means of HR XRR method
Autorzy:: Mazur Krystyna
Słowa kluczowe:: Materiały elektroniczne
Electronic - materials
reflektrometria rentgenowska
X-ray reflectrometry
Si wafer
płytka Si
Electronic - journal - materials
Elektronika - czasopismo - materiały
Data publikacji:: 2008
Wydawca:: ITME
Język:: polski
Linki:: https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/7168/content Link otwiera się w nowym oknie
Prawa:: Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access
Źródło:: http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5983
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5983
ITME, sygn. dostępny
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
: Książka

Przejdź do źródła

Bibliogr. s. 22

5-22 s. : il. 24 cm.

Informacja