- Tytuł:
- Wysokorezystywne wzorce do pomiaru profilu rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych metodą oporności rozpływu w styku punktowym
- Współwytwórcy:
-
Sarnecki, Jerzy
Brzozowski, Andrzej
Wodzińska, Halina
Lipiński, Dariusz - Data publikacji:
- 2013
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł