- Tytuł:
- Properties of Al contacts to Si surface exposed in the course of plasma etching of previously grown nanocrystalline c-BN film
- Autorzy:
-
Firek, P.
Werbowy, A.
Szmidt, J.
Olszyna, A. R. - Tematy:
-
cubic boron nitride
plasma etching
electric contacts - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2005
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł