- Tytuł:
- Depth Profile Analysis of Phosphorus Implanted SiC Structures
- Autorzy:
-
Konarski, P.
Król, K.
Miśnik, M.
Sochacki, M.
Szmidt, J.
Turek, M.
Żuk, J. - Tematy:
-
68.49.Sf
68.55.Ln
82.80.Ms
85.40.Ry - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2015-11
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł