- Tytuł:
- Detection of Shallow Dislocations on 4H-SiC Substrate by Etching Method
- Autorzy:
-
Ishikawa, Y.
Yao, Y.
Sato, K.
Sugawara, Y.
Danno, K.
Suzuki, H.
Bessho, T.
Kawai, Y.
Shibata, N. - Tematy:
-
61.72.uj
81.65.Cf
68.37.Lp - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2011-12
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł