- Tytuł:
- The role of magnetic energy on plasma localization during the glow discharge under reduced pressure
- Autorzy:
-
Chodun, R.
Nowakowska-Langier, K.
Zdunek, K.
Okrasa, S. - Tematy:
-
glow discharge
grounded magnetron
magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2016
- Wydawca:
- Instytut Chemii i Techniki Jądrowej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł