- Tytuł:
- A low-cost, simple optical setup for a fast scatterometry surface roughness measurements with nanometric precision
- Autorzy:
-
Kucharski, D.
Zdunek, H. - Tematy:
-
scatterometry
surface texture
optical measurement systems
surface metrology
surface roughness - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2020
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł