- Tytuł:
-
Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych = Some problems of improvement of geometrical parameters of polished silicon wafers
Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych
Prace ONPMP 1978 z. 2
Proceedings of ONPMP 1978 z. 2 - Autorzy:
- Piątkowski Bronisław
- Współwytwórcy:
-
Bielecki Krzysztof
Czerwińska Anna - Data publikacji:
- 1978
- Wydawca:
- Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka