- Tytuł:
-
Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych
Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements
Materiały Elektroniczne 2012 T.40 nr 2 - Autorzy:
- Piątkowski Bronisław
- Współwytwórcy:
- Szymański Sławomir
- Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- ITME
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka