- Tytuł:
- On changing the properties of a multilayer structure by preliminary processing of a substrate
- Autorzy:
- Pankratov, Evgeny L.
- Tematy:
-
gas phase epitaxy
improvement of properties of films
analytical approach for modeling - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie. Wydawnictwo AGH
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł