- Tytuł:
-
Interferometer-based scanning probe microscope for high-speed, long-range, traceable measurements
Mikroskop z sondą skanującą na bazie interferometru do szybkich spójnych pomiarów małych przemieszczeń o dużym zakresie - Autorzy:
-
Vorbringer-Dorozhovets, N.
Manske, E.
Jäger, G. - Tematy:
-
nanopositioning and nanomeasuring machine
metrological scanning probe microscope
SPM
AFM
maszyna nanopozycjonująca i nanopomiarowa
metrologiczny mikroskop z sondą skanującą - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2014
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł