- Tytuł:
- Study of Si-Implanted and Thermally Annealed Layers of Silicon by Using X-ray Grazing Incidence Methods
- Autorzy:
-
Klinger, D.
Lefeld-Sosnowska, M.
Pełka, J. B.
Paszkowicz, W.
Gierłowski, P.
Pankowski, P. - Tematy:
-
61.10.-i
61.10.Kw
61.72.Tt
68.35.Fx
81.40.Ef
81.65.Mq - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2002-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł