- Tytuł:
- Bonding of silicon and crystal quartz wafers at the minimized residual stresses
- Autorzy:
- Zimin, Yury
- Współwytwórcy:
-
Ueda, Toshitsugu
Pawłat, Joanna - Data publikacji:
- 2011
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł