Quintet-gated FEA to form crossover beam

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Quintet-gated FEA to form crossover beam
Autorzy:: Tagami, T.
Takeda, M.
Horie, S.
Yoshida, T.
Nagao, M.
Neo, Y.
Aoki, T.
Mimura, H.
Kanemaru, S.
Tematy:: FEA
beam
Data publikacji:: 2009
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Przemysłowy Instytut Automatyki i Pomiarów
Język:: angielski
Prawa:: CC BY-SA: Creative Commons Uznanie autorstwa - Na tych samych warunkach 3.0 PL
Źródło:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems; 2009, 3, 4; 157-158
1897-8649
2080-2145
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

In this report, we have described about new field emission array (FEA) structure built-in micro-column. This newly proposed FEA has multi-gated structured and is designed to form a crossover. We had already demonstrated the quad- and quintet- gated FEA. A crossover formation by was successfully observed for the first time. by the quintetgated FEA Furthermore electron beam lithography was demonstrated.

Informacja

Quintet-gated FEA to form crossover beam