Tytuł pozycji:
Quintet-gated FEA to form crossover beam
- Tytuł:
-
Quintet-gated FEA to form crossover beam
- Autorzy:
-
Tagami, T.
Takeda, M.
Horie, S.
Yoshida, T.
Nagao, M.
Neo, Y.
Aoki, T.
Mimura, H.
Kanemaru, S.
- Tematy:
-
FEA
beam
- Data publikacji:
-
2009
- Wydawca:
-
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Przemysłowy Instytut Automatyki i Pomiarów
- Język:
-
angielski
- Prawa:
-
CC BY-SA: Creative Commons Uznanie autorstwa - Na tych samych warunkach 3.0 PL
- Źródło:
-
Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems; 2009, 3, 4; 157-158
1897-8649
2080-2145
- Dostawca treści:
-
Biblioteka Nauki
-
Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
In this report, we have described about new field emission array (FEA) structure built-in micro-column. This newly proposed FEA has multi-gated structured and is designed to form a crossover. We had already demonstrated the quad- and quintet- gated FEA. A crossover formation by was successfully observed for the first time. by the quintetgated FEA Furthermore electron beam lithography was demonstrated.