Elementy optyczne pracujące w widmowym zakresie obejmującym ultrafiolet próżniowy i miękkie promieniowanie rentgenowskie

W artykule zawarto podstawy fizyczne i przegląd elementów optycznych do pracy w zakresie obejmującym ultrafiolet próżniowy (eUV) oraz miękkie promieniowanie rentgenowskie (SXr). Pierwszy rozdział obejmuje wprowadzenie do analizowanej tematyki i podstawy fizyczne. W drugim rozdziale przedstawione zostały podstawy działania optyki związanej z zakresem eUV/SXr wraz z wyróżnieniem jej wad oraz zalet. W trzecim rozdziale szczegółowo omówiono elementy optyczne, takie jak: filtry optyczne, zwierciadła (m.in. wielowarstwowe), siatki dyfrakcyjne, płytki strefowe Fresnela oraz rozwiązania hybrydowe. rozdział czwarty przedstawia szeroki obszar zastosowań optyki eUV/SXr. W ostatnim rozdziale znajduje się podsumowanie przedstawionych wcześniej informacji.

The article presents the physical basis and overview of optical elements for the range including extreme ultraviolet (eUV) and soft X-ray (SXr). The first chapter contains an introduction to the subject under review and physical fundamentals. The second chapter presents the basics of optics for the eUV/SXr range, along with highlighting its advantages and disadvantages. The third chapter discusses in detail optical components such as optical filters, mirrors (including multilayers), diffraction gratings, Fresnel zone plates, and hybrid solutions. The fourth chapter presents a wide range of applications of eUV/SXr optics. The final chapter summarises the information presented earlier.