Investigation of Phosphorus Release during Annealing of Au Contacts to InP

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Investigation of Phosphorus Release during Annealing of Au Contacts to InP
Autorzy:: Piotrowska, A.
Kamińska, E.
Kwiatkowski, S.
Turos, A.
Tematy:: 73.40.Ns
Data publikacji:: 1992-11
Wydawca:: Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Język:: angielski
Prawa:: Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Źródło:: Acta Physica Polonica A; 1992, 82, 5; 849-852
0587-4246
1898-794X
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

The analysis of phosphorus release from Au/InP contacts heat treated at temperature from the range 360-480°C showed that P evaporation accompanies any stage of contact reaction. The use of encapsulating layer during contact annealing suppresses the loss of phosphorus and changes the kinetics of thermally activated interfacial reaction.

Informacja

Investigation of Phosphorus Release during Annealing of Au Contacts to InP