Semiconductor Sensor Layer in SAW Gas Sensors Configuration

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Semiconductor Sensor Layer in SAW Gas Sensors Configuration
Autorzy:: Hejczyk, T.
Urbańczyk, M.
Jakubik, W.
Tematy:: 77.65.Dq
68.35.Iv
07.07.Df
Data publikacji:: 2010-12
Wydawca:: Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Język:: angielski
Prawa:: Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Źródło:: Acta Physica Polonica A; 2010, 118, 6; 1153-1157
0587-4246
1898-794X
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

A Rayleigh acoustic wave travelling on the surface of a semi-infinite piezoelectric medium may be changed by interaction with carriers and diffused gas in an adjacent semiconductor. The configuration, which uses a thin semiconductor film supported by a catalytic layer (Pd), is described in detail and the theoretical results of gas-sensor layer interaction are presented.

Informacja

Semiconductor Sensor Layer in SAW Gas Sensors Configuration