Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Plasma Ion Source with an Internal Evaporator

Tytuł:
Plasma Ion Source with an Internal Evaporator
Autorzy:
Turek, M.
Droździel, A.
Pyszniak, K.
Prucnal, S.
Mączka, D.
Tematy:
07.77.Ka
34.80.Dp
61.72.uj
Data publikacji:
2011-07
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Język:
angielski
Prawa:
Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Źródło:
Acta Physica Polonica A; 2011, 120, 1; 184-187
0587-4246
1898-794X
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
  Przejdź do źródła  Link otwiera się w nowym oknie
A new construction of a hollow cathode ion source equipped with an internal evaporator heated by a spiral cathode filament and arc discharge is presented. The source is especially suitable for production of ions from solids. The proximity of arc discharge region and extraction opening enables production of intense ion beams even for very low discharge current ($I_{a}$ = 1.2 A). The currents of 50 μA $(Al^{+})$ and 70 μA $(Bi^{+})$ were obtained using the extraction voltage of 25 kV. The source is able to work for several tens of hours without maintenance breaks, giving possibility of high dose implantations. The paper presents the detailed description of the ion source as well as its experimental characteristics like dependences of extracted currents and anode voltage on anode and cathode currents.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies