- Tytuł:
- Detection of shallow dislocations on 4H-SiC substrate by etching method
- Autorzy:
- Ishikawa, Y.
- Współwytwórcy:
-
Sugawara, Y.
Shibata, N.
Suzuki, H.
Yao, Y.
Danno, K.
Kawai, Y.
Bessho, T.
Sato, K. - Data publikacji:
- 2011
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-f/
Publikacja udostępniona za zgodą wydawcy. Całość ani żadna z jej części nie może być przetwarzana ani wykorzystywana w celach komercyjnych - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł