Badanie chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometru kątowego. Cz. 2, Metodyka pomiaru : wyniki pomiarowe wybranych powierzchni

W artykule opisano metodykę pomiaru parametrów chropowatości powierzchni za pomocą zbudowanego w IOE WAT zautomatyzowanego skaterometru kątowego. Zaprezentowano wyniki pomiarowe dla trzech wybranych polerowanych powierzchni: z krzemu, z germanu oraz ze stali nierdzewnej. Przedstawiono badania porównawcze wykonane za pomocą scatteroscope SCAT-4. Oszacowano powtarzalność pomiaru i zakres pomiarowy dla skaterometru kątowego.

The experimental procedure for measurements of smooth surface roughness parameters using automated angle scatterometer, built at the Institute of Optoelectronics (IOE), is described. The results of measurements and their analysis for three chosen polished surfaces: silicon, germanium, and stainless steel are presented. The comparative investigations using scatteroscope SCAT-4 are performed. The repeatability and measurement range for built at IOEangle scatterometer is estimated.